“极紫外(EUV)”:指电磁波谱中介于紫外线与X射线之间的波段,常见范围约为 10–121 纳米(不同学科/标准略有差异)。它在太阳物理、空间天气、半导体光刻与等离子体研究中很常用。(也有人用更窄或更宽的划分来定义EUV。)
/ɪkˈstriːm ˌʌltrəˈvaɪələt/
Extreme ultraviolet radiation from the Sun can affect Earth’s upper atmosphere.
太阳发出的极紫外辐射会影响地球的高层大气。
Using extreme ultraviolet lithography, manufacturers can print extremely small features on chips.
借助极紫外光刻,制造商能够在芯片上刻写极其微小的结构特征。
Extreme 来自拉丁语 extremus,意为“最外端的、极端的”;ultraviolet 由 *ultra-*(“超出、在……之外”)+ violet(“紫色”)构成,字面意思是“超出紫色(可见光紫端)之外的光”。“extreme ultraviolet”因此指“紫外线中更靠近X射线、能量更高的那一段”。