HMDS

释义 Definition

HMDS 常指 六甲基二硅氮烷（Hexamethyldisilazane）的缩写，是一种常用的有机硅试剂与表面处理剂。常见用途包括：在微纳加工/光刻中作为黏附促进剂（让光刻胶更容易附着在晶圆表面），以及在有机合成中用作硅烷化/保护基引入相关试剂。（在不同领域也可能有其他较少见的含义，但此为最常见用法。）

发音 Pronunciation (IPA)

/ˌeɪtʃˌɛmˌdiːˈɛs/
/ˌhɛksəˌmɛθaɪl daɪˌsɪləˈzeɪn/

例句 Examples

We treated the wafer with HMDS before coating photoresist.
我们在涂覆光刻胶之前用 HMDS 处理了晶圆。

Because HMDS makes the surface more hydrophobic, it often improves resist adhesion and reduces pattern defects during lithography.
由于 HMDS 会使表面更疏水，它常常能提高光刻胶黏附性，并在光刻过程中减少图形缺陷。

词源 Etymology

HMDS 是化学名称 **Hexa-**（六）+ methyl（甲基）+ **di-**（二）+ silazane（含硅-氮键的一类化合物）缩写而来。该缩写在半导体工艺与实验室语境中被广泛使用，便于快速指代这种常见试剂。

相关词 Related Words

• Adhesion
• Photoresist
• Lithography
• Wafer
• Silane
• Silylation
• Hydrophobic
• Primer

文学与著作中的用例 Literary / Notable Works

• Introduction to Microelectronic Fabrication（微电子制造导论类教材中常在光刻前处理章节提到 HMDS）
• Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling（关于硅基 VLSI 工艺的经典教材中常在光刻/表面化学处出现）
• Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology（半导体制造技术手册中常在光刻工艺与表面处理条目中出现）