微细加工 / 微制造:指在微米(μm)甚至更小尺度上制造结构与器件的一系列工艺与技术,常用于半导体芯片、MEMS(微机电系统)、微流控器件等领域。(也常泛指“微尺度制造技术”的总称。)
/ˌmaɪkroʊˌfæbrɪˈkeɪʃən/
Microfabrication is used to make computer chips.
微细加工用于制造计算机芯片。
Advances in microfabrication have enabled researchers to build tiny sensors and microfluidic channels on a single silicon wafer.
微细加工的进步使研究人员能够在同一片硅晶圆上构建微型传感器和微流控通道。
由 **micro-**(“微小的”)+ fabrication(“制造、加工”)构成。fabrication 源自拉丁语 faber(“工匠、制作者”)相关词根,后来在英语中发展为“制造、加工”的含义;加上 micro- 便强调“在极小尺度上的制造”。
由于 microfabrication 属于相对现代的科技术语,它更常见于科研与科普著作,而非传统文学经典。以下为较常被引用、且涉及该词或该概念的代表性英文科技作品: