high vacuum 指“高真空”,通常表示气体压力非常低、气体分子极少的真空状态(常见工程语境里约在 10⁻³–10⁻⁷ Torr 量级,具体界限会因学科与标准而略有差异)。常用于真空镀膜、电子显微镜、粒子加速器、半导体工艺等领域。
/ˌhaɪ ˈvækjuːm/
The sample must be kept in high vacuum.
样品必须保持在高真空环境中。
To prevent contamination during deposition, the chamber was pumped down to high vacuum before heating the substrate.
为避免沉积过程中的污染,加热基片前先将腔体抽至高真空。
vacuum 源自拉丁语 vacuus,意为“空的、无物的”;high 表示程度更高。合在一起,high vacuum 就是“真空程度很高(压力更低、残余气体更少)”的技术术语。相关语域里还常与 rough vacuum / medium vacuum / ultra-high vacuum 等分级并列使用。