超高真空（UHV）：指极低压强的真空环境，通常约为 ≤ 10⁻⁹ mbar（或约 ≤ 10⁻⁷ Pa） 的量级。常用于表面科学、薄膜沉积、电子显微与半导体工艺等，需要尽量减少气体分子干扰的实验与制造场景。（不同领域对阈值有细微差异。）
/ˌʌltrə ˌhaɪ ˈvækjuːm/
The experiment must be done in ultra-high vacuum.
这个实验必须在超高真空环境下进行。
To study how atoms arrange on a clean surface, researchers prepare the sample in ultra-high vacuum and heat it to remove residual gases.
为了研究原子如何在洁净表面上排列，研究人员会在超高真空中制备样品，并通过加热去除残余气体。
ultra- 来自拉丁语 ultra，意为“超越、极度”；high 表示“高（程度）”；vacuum 源自拉丁语 vacuum，意为“空的空间”。合在一起，ultra-high vacuum 就是“极高等级的真空（极其稀薄的气体环境）”。该术语随着20世纪真空技术、表面物理与半导体工业的发展而普及。
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