Submicron

Definition / 释义

submicron（形容词）指“小于 1 微米（1 μm）的；亚微米级的”。常用于材料科学、半导体工艺、光学、生物医学成像等语境。（也可作名词用，指亚微米尺度/颗粒。）

Pronunciation / 发音（IPA）

/ˌsʌbˈmaɪkrən/

Examples / 例句

The filter removes submicron particles from the air.
这种过滤器能去除空气中的亚微米颗粒。

Submicron patterning is essential for modern chip manufacturing because it increases transistor density and performance.
亚微米级的图案加工对现代芯片制造至关重要，因为它能提高晶体管密度与性能。

Etymology / 词源

由前缀 sub-（“在……之下、低于”）+ micron（“微米”）构成。micron 源自希腊语 mikros（“小的”）。因此 submicron 字面意思就是“低于微米尺度的”。

Related Words / 相关词

• Micron
• Micrometer
• Nanometer
• Nanoscale
• Nanoparticle
• Ultrafine
• Microfabrication
• Photolithography

Literary Works / 文学与著作中的用例

• 《Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling》（Plummer 等）：讨论亚微米/深亚微米工艺与器件缩放时频繁使用 submicron。
• 《Microchip Fabrication: A Practical Guide to Semiconductor Processing》（Peter Van Zant）：在光刻、刻蚀与制程控制章节中常见 submicron。
• 《Handbook of Nanoscience, Engineering, and Technology》（K. E. Drexler 等相关领域合集/手册类）：用于描述亚微米结构、颗粒与表征方法。